中科瑞晶(杭州)科技有限公司

金属靶材

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。


靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等, 中科瑞晶(杭州)科技有限公司提供常见的金属靶材,包含且不限于以下列表。



材料纯度最大尺寸制备方法
Al3~5N1000×300mm熔炼
Ag4N1000×300mm熔炼
Au4N800×300mm熔炼
Bi4N400×200mm熔炼
C石墨)3N600×300mm特殊烧结
Co3N800×300mm熔炼
Cr2N5~3N5500×200mm特殊烧结
Cu3N71000×300mm熔炼
Fe2N5,3N,4N1000×300mm熔炼
Ge4NDia 4″特殊烧结
Hf3N500×200mm熔炼
In4N800×300mm熔炼
Mg3N5500×300mm熔炼
Mo3N5500×300mm特殊烧结
Ni2N5,3N5,4N51000×300mm熔炼
Pb3N,4N800×300mm熔炼
Pd3N500×300mm熔炼
Si5NDia 4″特殊烧结
Sn3N5,5N1000×300mm熔炼
Ta3N51000×300mm熔炼
Ti2N5,3N1000×300mm熔炼
V2N5,3N1000×300mm熔炼
W3N51000×300mm熔炼
Zn3N,4N800×300mm熔炼
Zr3N800×300mm熔炼