金属靶材
靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。
靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等, 中科瑞晶(杭州)科技有限公司提供常见的金属靶材,包含且不限于以下列表。
材料 | 纯度 | 最大尺寸 | 制备方法 |
Al | 3~5N | 1000×300mm | 熔炼 |
Ag | 4N | 1000×300mm | 熔炼 |
Au | 4N | 800×300mm | 熔炼 |
Bi | 4N | 400×200mm | 熔炼 |
C石墨) | 3N | 600×300mm | 特殊烧结 |
Co | 3N | 800×300mm | 熔炼 |
Cr | 2N5~3N5 | 500×200mm | 特殊烧结 |
Cu | 3N7 | 1000×300mm | 熔炼 |
Fe | 2N5,3N,4N | 1000×300mm | 熔炼 |
Ge | 4N | Dia 4″ | 特殊烧结 |
Hf | 3N | 500×200mm | 熔炼 |
In | 4N | 800×300mm | 熔炼 |
Mg | 3N5 | 500×300mm | 熔炼 |
Mo | 3N5 | 500×300mm | 特殊烧结 |
Ni | 2N5,3N5,4N5 | 1000×300mm | 熔炼 |
Pb | 3N,4N | 800×300mm | 熔炼 |
Pd | 3N | 500×300mm | 熔炼 |
Si | 5N | Dia 4″ | 特殊烧结 |
Sn | 3N5,5N | 1000×300mm | 熔炼 |
Ta | 3N5 | 1000×300mm | 熔炼 |
Ti | 2N5,3N | 1000×300mm | 熔炼 |
V | 2N5,3N | 1000×300mm | 熔炼 |
W | 3N5 | 1000×300mm | 熔炼 |
Zn | 3N,4N | 800×300mm | 熔炼 |
Zr | 3N | 800×300mm | 熔炼 |