LiAlO2
LiAlO2(铝酸锂)晶体是高温超导薄膜最重要的衬底。它与高温超导材料如YBaCuO非常匹配,并且具有低介电常数和低微波损耗的特点。LiAlO2是一种潜在的III-V族氮化物薄膜衬底,因为它与GaN具有良好的晶格失配、高温下的化学稳定性以及比ZnO更具成本效益。LiAlO2晶体可以取代ZnO和蓝宝石作为光学衬底。铝酸锂(LiAlO2)单晶与GaN晶体具有较低的晶格失配,是GaN薄膜的优良衬底。
中科瑞晶依据客户需求,提供不同规格的铝酸锂(LiAlO2)晶体材料。
使用/应用
LiAlO2(铝酸锂)晶体是高温超导薄膜最重要的衬底。
可以用作III-V氮化物薄膜的衬底。
LiAlO2晶体可以取代ZnO和蓝宝石作为光学衬底。
特点/优势
它与高温超导材料如YBaCuO非常匹配,并且具有低介电常数和低微波损耗的特点。
在高温下的化学稳定性和成本效益优于氧化锌。
铝酸锂(LiAlO2)单晶与GaN晶体具有较低的晶格失配,是GaN薄膜的优良衬底。
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晶体结构
四方
晶格常数
a=5.17 A c=6.26 A
熔点(℃)
1900
密度
2.62(g/cm3)
硬度
7.5(mohs)
与GaN失配率 <001>
1.4%
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
单面或双面
晶向
<100> <001>
晶面定向精度:
±0.5°
边缘定向精度:
2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片
可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包装
100级洁净袋,1000级超净室
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尺寸
10x3mm,10x5mm,10x10mm,15x15mm,20x15mm,20x20mm
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度
0.5mm,1.0mm