YSZ
氧化锆(ZrO2)单晶片是最早的高温超导衬底之一。由于氧化锆需要掺杂钇以稳定其结构,通常使用掺杂钇掺杂氧化锆(YSZ)单晶。YSZ的机械稳定性和化学稳定性优异,价格相对较低,特别适用于制作正片。
使用/应用
氧化锆(ZrO2)单晶片是最早的高温超导衬底之一。
由于氧化锆需要掺杂钇以稳定其结构,通常使用掺杂钇掺杂氧化锆(YSZ)单晶。
特点/优势
YSZ的机械稳定性和化学稳定性优异,价格相对较低,特别适用于制作正片。
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结构
立方
生长方法
电弧法
晶格常数
a=5.147Å
熔点
2700℃
密度
6.0g/cm3
硬度 (Mho)
8-8.5(mohs)
纯度
99.99%
热胀系数
10.3×10-6/℃
介电常数
ε=27
Size
10×3mm,10×5mm、10×10mm、15×15mm、20×15mm
Custom-made size and crystal orientation upon request
厚度
0.5mm,1.0mm
尺寸
<±0.1mm
厚度公差
<±0.015m, ±0.005mm for special needs)
抛光
Single polishing or double polishing
晶向
<100>、<110>、<111> etc.
晶向公差
±0.5°
边缘晶向精确度
2°(1°for special needs)
晶片切角
适应特殊要求,晶片切角可以在1°~45°调节。
包装
100级洁净袋,1000级超净室。
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尺寸
10×3mm, 10×5mm, 10×10mm, 15×15mm, 20×15mm, 20×15mm
尺寸和晶向可定制。
厚度
0.5mm,1.0mm
尺寸公差
<±0.1mm
厚度公差
<±0.015m, ±0.005mm for special needs)