InAs
利用InAs单晶衬底,可以生长InAsSb/In-AsSb、InNaSb等异质结材料,制备波长为2-14μm的红外发光器件。InAs单晶衬底也可以用于外延生长AlGaSb超晶格结构材料。中红外量子级联激光器。这些红外器件在气体监测、低损耗光纤通信等领域具有良好的应用前景。此外,InAs单晶具有较高的电子迁移率,是制作霍尔器件的理想材料。作为单晶衬底,InAs材料需要具有低的位错密度、良好的晶格完整性、合适的电学参数和高的均匀性。InP单晶材料的主要生长方法是传统的液封提拉法(LEC)。
中科瑞晶根据客户需求,提供不同规格的砷化铟(InAs)晶体材料。
使用/应用
利用InAs单晶衬底,可以生长InAsSb/In-AsPSb、InNAsSb等异质结材料,制备波长为2-14μm的红外发光器件。
InAs单晶衬底也可用于外延生长AlGaSb超晶格材料和中红外量子级联激光器。
红外器件在气体监测、低损耗光纤通信等领域具有良好的应用前景。
特点/优势
InAs单晶具有较高的电子迁移率。
-
单晶
掺杂
导电类型
载流子浓度
cm-3
迁移率(cm2/V.s)
位错密度(cm-2)
标准基片
InAs
本征
N
5´1016
³2´104
<5´104
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm
InAs
Sn
N
(5-20) ´1017
>2000
<5´104
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm
InAs
Zn
P
(1-20) ´1017
100-300
<5´104
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm
InAs
S
N
(1-10)´1017
>2000
<5´104
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm
尺寸(mm)
Dia50.8x0.5mm,10×10×0.5mm、10×5×0.5mm可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底
表面粗糙度
Surface roughness(Ra):<=5A
可提供原子粒显微镜(AFM)检测报告抛光
单面或双面
包装
100级洁净袋,1000级超净室
-
尺寸
Φ50.8x0.5mm,10×10×0.5mm、10×5×0.5mm
晶向和尺寸可根据需求定制。