靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等，亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。
靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等, 中科瑞晶（杭州）科技有限公司提供常见的金属靶材，包含且不限于以下。
